半導(dǎo)體行業(yè)的靜電防護知識

靜電產(chǎn)生的方法：接觸分離；摩擦; 脫皮 傳導(dǎo)。

安全第一：防靜電措施是否與安全措施相抵觸。

保護措施：接地-等電位連接；靜態(tài)功率控制；防靜電包裝。

關(guān)注的重點：產(chǎn)品靜電敏感性要求；保護標(biāo)準(zhǔn)匹配；合規(guī)性驗證。

何時使用金屬材料以及何時使用靜電耗散材料？

金屬材料：

1.產(chǎn)品處于等電位時可以直接使用金屬材料。

2.當(dāng)單個產(chǎn)品不會直接與金屬材料接觸時，可以使用金屬材料。

由于整個產(chǎn)品處理框架的關(guān)系，晶圓使用非靜電膜，因此某些設(shè)備無法配備離子風(fēng)扇。在此過程中會積聚靜電。除了安裝離子風(fēng)扇外，我們還將選擇一些快速導(dǎo)電的材料來使靜電快速消失。

如果使用靜電消散材料可以嗎？

是的，但是靜電耗散非常緩慢，存在靜電積聚的風(fēng)險，并且在切割過程中會發(fā)生放電，這對產(chǎn)品造成ESD損害的風(fēng)險很大。

靜電材料：將單個產(chǎn)品切割，分離，運輸和包裝后，即可使用靜電材料。

使用錯誤材料有什么風(fēng)險？

由于切割和分離后的產(chǎn)品更敏感且抗靜電能力較弱，因此，如果使用金屬材料，它們會因?qū)щ娺^快（由于直接接觸產(chǎn)品后迅速放電）而對產(chǎn)品造成ESD損壞，并且使用靜電材料會限制壓力。降低與產(chǎn)品接觸后ESD損壞產(chǎn)品的風(fēng)險。

半導(dǎo)體行業(yè)的靜電防護措施

接地等電位連接：與敏感設(shè)備接觸的導(dǎo)體實現(xiàn)等電位連接，以避免導(dǎo)體上的靜電引起的放電。

靜電控制：絕緣材料的靜電不能通過接地和等電位連接消除，因此必須在敏感設(shè)備周圍進行靜電控制。

防靜電包裝：從ESD保護區(qū)運出的設(shè)備必須使用防靜電包裝，以防止外部靜電的影響。

靜電保護的核心是消除靜電：防止靜電積聚在可能發(fā)生靜電的地方。我們用它來產(chǎn)生和釋放靜電。并將靜電電壓控制在安全范圍內(nèi)。消除現(xiàn)有的靜電積聚并及時釋放。

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